• laserový senzor pro zarovnání polovodičových waferů
  • kompaktní rozměry
  • laserová dioda 780 nm Class I
  • maximální rozlišení 7 µm / 14 µm (v závislosti na modelu)
  • 2400 měření/s
  • potlačení okolního světla
  • paralelní rozhraní
  • příznivá cena
Measurement Range 0.006″ (140 µm) up to 1.1″ (28 mm)
Resolution 14 µm for ALIGNX14 / 7 µm for ALIGNX7
Repeatability 14 µm (Edge position)
Response Time 0.391 ms
Non-Linearity 0.3% of Full Range
Detection Method Laser (780 nm Class I Laser Diode) Through-Beam with CCD Element
Power 12 to 24 VDC / 160mA
Connection / Interface 20 pin Header (Male 0.1″) / Parallel Binary (TTL)
Data Format 11 bit Parallel for ALIGNX14 / 12 bit Parallel for ALIGNX7
Data Output 0 up to 2000 pixels for ALIGNX14 / 0 up to 4000 pixels for ALIGNX7
Overall Dimensions 3.85″ x 2.80″ x 0.85″ (97.8 mm x 71.1 mm x 21.6 mm)
Weight 5.9 oz (170 g)