Vlastnosti
- laserový senzor pro zarovnání polovodičových waferů
- kompaktní rozměry
- laserová dioda 780 nm třída I
- maximální rozlišení 7 µm / 14 µm (v závislosti na modelu)
- 2400 měření/s
- potlačení okolního světla
- paralelní rozhraní
- příznivá cena
Technická specifikace
| Měřicí rozsah | 140 µm až 28 mm (0,006″ až 1,1″) |
| Rozlišení | 14 µm pro ALIGNX14 / 7 µm pro ALIGNX7 |
| Opakovatelnost | 14 µm (poloha hrany) |
| Doba odezvy | 0.391 ms |
| Nelinearita | 0,3 % rozsahu |
| Princip detekce | laserový průchozí paprsek (laserová dioda 780 nm, třída I) s CCD snímačem |
| Napájení | 12–24 V DC / 160 mA |
| Připojení / rozhraní | 20pinový kolíkový konektor (rozteč 0,1″) / paralelní binární (TTL) |
| Formát dat | 11 bitů paralelně pro ALIGNX14 / 12 bitů paralelně pro ALIGNX7 |
| Datový výstup | 0 až 2000 pixelů pro ALIGNX14 / 0 až 4000 pixelů pro ALIGNX7 |
| Celkové rozměry | 3.85″ x 2.80″ x 0.85″ (97.8 mm x 71.1 mm x 21.6 mm) |
| Hmotnost | 5.9 oz (170 g) |
