EN CZ

Senzory pro zarovnání a mapování waferů

AlignxB

Výkonný laserový senzor pro přesnou detekci neprůhledných i průhledných waferů.

Rozsah
140 µm – 28 mm
Rozhraní
paralelní binární (5 V), USB

ALIGNX7 / ALIGNX14

Cenově dostupný laserový senzor pro přesné měření hrany neprůhledných i průhledných waferů.

Rozsah
140 µm – 28 mm
Rozhraní
paralelní binární (TTL)

RscanX038

Kompaktní výkonný senzor pro mapování waferů na manipulačních zařízeních (rameno robota).

Rozsah
vzdálenost 38 mm, +17° / −25°
Rozhraní
NPN otevřený kolektor, 4 vodiče