Vlastnosti
- vysoce výkonný laserový senzor pro zarovnání polovodičových waferů (neprůhledných i průhledných)
- rychlý, 2560 měření/s (až až 5000 měření/s na požádádní)
- kompaktní senzor s paralelním rozhraním pro snadnou úhlovou synchronizaci
- USB rozhraní
- červená (670 nm) nebo modrá (405 nm) laserová dioda třída I
- pro dosažení vysoké přesnosti je každý senzor z výroby kalibrován
- potlačení okolního světla
Technická specifikace
| Měřicí rozsah | 140 µm až 28 mm (0,006″ až 1,10″) |
| Rozlišení | 14 (7) µm pro paralelní a 0,4375 µm pro USB rozhraní |
| Opakovatelnost | 14 µm pro paralelní a 3 µm pro USB rozhraní |
| Doba odezvy | 0.391 ms |
| Nelinearita | 0.1% |
| Napájení | 12–24 V DC / 170 mA nebo napájení z USB |
| Logické úrovně | 0 V (logická „0“) a 5 V (logická „1“) |
| Připojení | 2× 10pinový dvouřadý konektor, konektor USB mini B |
| Rozhraní (I/O) | paralelní binární (logika 5 V), USB |
| Indikace | zelená LED = senzor zapnut; modrá LED = přítomnost objektu |
| Formát dat | 11 (12) bitů paralelně, USB |
| Rozsah dat | 0 až 2000 (4000) pixelů |
| Celkové rozměry | 3.85″ x 2.80″ x 0.85″ (97.8 mm x 71.1 mm x 21.6 mm) |
| Hmotnost | 5.9oz (170 g) |
