RscanX038

Kompaktní výkonný senzor pro mapování waferů na manipulačních zařízeních (rameno robota).

RscanX038

Vlastnosti

  • detekuje nitridované polovodičové wafery
  • laserová dioda 780 nm třída I
  • LED bar zobrazuje úroveň odraženého světla a prahovou úroveň
  • nízký odběr (max. 50 mA)
  • elektricky a mechanicky kompatibilní se standardními průmyslovými snímači
  • potlačení okolního světla
  • zákaznické provedení na vyžádání (mohou být účtovány náklady na vývoj – NRE)

Technická specifikace

Princip detekcelaserový paprsek s fotodetektory
Zdroj světlalaserová dioda 780 nm, třída I (výkon max. 0,050 mW)
Detekční vzdálenost38 mm (1,5″) nebo dle zákazníka (2″ / 3″ / 4″)
Doba odezvyzpoždění sepnutí max. 38 µs / rozepnutí min. 5 ms (nastavitelné)
Velikost laserové stopy12.7 mm x 0.15 mm
Úhlový rozsah+17°, −25° (vůči čelní ploše senzoru)
Detekovatelné wafery3″ až 12″, různé tloušťky a povrchové vrstvy (včetně nitridovaných waferů)
Napájení12–24 V DC / max. 50 mA
Nastaveníotvor pro nastavení prahu
Rozhraní (vstup a výstup)4žilový kabel
Indikacezelená LED = senzor zapnut; modrá LED = přítomnost objektu; LED bargraf
VýstupNPN s otevřeným kolektorem (interní nebo externí pull-up rezistor), max. 80 mA
Materiályhliníkové pouzdro, skleněné čočky, filtr RG9
Celkové rozměry3.5” x 1.5” x 0.65” (88.9 mm x 38.1 mm x 16.5 mm)
Hmotnost3.2 oz (92 g)

Hodí se na vaši linku?

Pošlete nám průměr, rychlost linky a materiál. Měření můžeme ověřit na vašem vzorku.